8613809172622
info@zctitanium.com
eeKeel
Otsi hotelle

Titaanist pihustavad sihtmärgid

Kodu / Tooted / Titaanist pihustavad sihtmärgid
Toote ülevaade

 

Titanium Sputtering Sihtmärgid on kõrge puhtusastmega kulumaterjalid, mida kasutatakse füüsikalise aurustamise-sadestamise (PVD) süsteemides õhukeste titaani või titaani{1} kilede sadestamiseks aluspindadele. Ühtse pihustuskiiruse ja minimaalse defektide tekitamise jaoks loodud meie sihtmärgid toetavad suure-võimsusega impulssmagnetroni pihustamist (HIPIMS) ja DC/RF magnetronide seadistusi pooljuhtide, optiliste ja dekoratiivsete katteliinide vahel.

 
 
Tehnilised andmed

 

Parameeter

Spetsifikatsioonivahemik

Materjali puhtus

99,9% (3N) kuni 99,999% (5N)

Standardklassid

ASTM B348 klass 1 / klass 2 (CP Ti), titaanisulamid (nt TiAl, TiSi)

Tihedus

>= 4.51 g/cm3 (>99,5% teoreetiline tihedus, mõõdetuna Archimedese põhimõttel)

Keskmine tera suurus

< 100 um (fine, equiaxed microstructure)

Mõõtmed (tasapinnaline)

Pikkus kuni 3000 mm, laius kuni 800 mm, paksus 3-25 mm

Mõõdud (pööratav)

Välisläbimõõt kuni 400 mm, pikkus kuni 4000 mm

Tugiplaat

OFHC vask (C10200 / C11000) või alumiinium (6061)

Liimimistehnoloogia

Indium-, elastomeeri- või difusioonside (tühisuse määr < 1%)

 

Põhiomadused

Peen mikrostruktuur

Kontrollitud termo{0}}mehaaniline töötlemine annab keskmise tera suuruse alla 100 um, tagades ühtlase erosiooniprofiili ja vältides eelistatud pritsimist.

Gaasi puhtuse kontroll

Vaakumi induktsioonsulatamise (VIM) ja elektronkiirega sulatamise (EBM) protsessid hoiavad interstitsiaalsete gaaside lisandid (O, N, H, C) rangelt miinimumini.

Kõrge soojusjuhtivusega liimimine

Difusioon või indiumi sidumine OFHC vasest tugiplaatidega hoiab ära sihtmärgi väändumise ja enneaegse pragunemise suure{0}}tihedusega plasmalahenduse korral.

Madal osakeste teke

Suur tihedus ja sisemiste mikro{0}}tühmuste puudumine pärsivad kaare ja sõlmede teket pikkade katmisprotsesside ajal.

 

Rakendused
 

Pooljuht ja mikroelektroonika

 

Barjäärikihtide, kontaktkihtide ja omavahel ühendatud seemnekihtide sadestamine IC valmistamisel.

Lameekraanid (OLED/LCD)

 

Juhtivate ja piksleid{0}}juhtivate õhuke-kiletransistori (TFT) kihtide moodustumine.

Optilised katted

 

Peegeldusvastased (AR) katted, filtrikihid ja arhitektuurne madala-E klaasi tootmine.

Kulumiskindlad-dekoratiivsed kõvakatted

TiN, TiCN ja TiAlN sadestamine lõikeriistadele, autokomponentidele ja sanitaarseadmetele.

 

 

Kohandamine ja tootmine

Tootmistee:Vacuum Melting -> Hot Isostatic Pressing (HIP) / Multi-step Forging -> Precision Machining -> Non-Destructive Testing ->Liimimine.


Kohandatud võimalused:Kohandatud geomeetria (ristkülikukujuline, ringikujuline, segmenteeritud, pööratav), kohandatud tugiplaadi jahutuskanalite kujundus ja spetsiifilised tera orientatsiooni nõuded.


Majasisene töötlemine-:CNC freesimisel ja treimisel saavutatakse mõõtmete tolerantsid vahemikus +/- 0.1 mm ja pinnakaredus kuni Ra 0,4 um.

Grade 2 Titanium Plate

 

Kvaliteedikontroll ja sertifikaadid

Analüütiline testimine

hõõglahenduse massispektromeetria (GDMS) mikroelementide analüüsiks; LECO gaasianalüsaatorid hapniku, lämmastiku ja vesiniku kvantifitseerimiseks.

Ehituse ülevaatus

Ultraheli testimine (UT) viidi läbi 100% seotud sihtmärkidega, et kontrollida sideme terviklikkust ja tuvastada liidese tühimikud.

Jälgitavus

Iga sihtmärk on varustatud analüüsisertifikaadiga (COA), milles on üksikasjalikult näidatud partii täpne puhtus, lisandite ppm jaotus ja tiheduse testi tulemused.

 

Pakkimine ja kohaletoimetamine

 

 

Pakendamine

Vaakum-suletud anti-staatilistesse polüetüleenkottidesse, pakitud põrutus-neelava vahuga tugevdatud ekspordi-klassi puidust kastidesse, et vältida transiidi oksüdatsiooni ja mehaanilisi kahjustusi.

 

Juhtimisaeg

2 kuni 3 nädalat standardsete tasapinnaliste mõõtmete korral; 4–6 nädalat kohandatud pööratavate või difusioon{4}}liimitud konfiguratsioonide jaoks.

 

Tarnetingimused

FOB, CIF või DDP õhu- või meretranspordi kaudu.

 

 

 

KKK

 

 

K: Millist puhtusastet on vaja pooljuhtide rakenduste ja dekoratiivkatete jaoks?

V: Pooljuhtide rakendused nõuavad tavaliselt 99,995% (4N5) kuni 99,999% (5N) puhtust, et vältida metalli saastumise jälgi elektriliste omaduste muutmisel. Dekoratiivsed ja kulumiskindlad kõvakatted kasutavad tavaliselt 99,9% (3N) kuni 99,95% puhtust, tasakaalustades kulusid ja funktsionaalset jõudlust.

K: Kuidas vältida sihtmärgi pragunemist suure{0}}võimsusega pritsimise ajal?

V: Sihtlõhenemist leevendab peene ja ühtlase tera suuruse säilitamine (< 100 um), high theoretical density (>99,5%) ja kasutades tugevat difusioon--- või indium{2}}-sidemetega OFHC-vasest tugiplaate, mis hajutavad tõhusalt soojuskoormust.

K: Mis on maksimaalne sidumise tühimäär, mille te garanteerite?

V: Garanteerime liidese liimimise tühimike, mis on väiksem kui 1% liimitud pinna kogupindalast, mis on kontrollitud ultraheli C-skaneerimisega enne saatmist, vältides lokaalset ülekuumenemist ja sihtmärgi delaminatsiooni.

K: Kas saate suurte kattekambrite jaoks segmenteeritud sihtmärke valmistada?

V: Jah. Valmistame suure-pindalaga tasapinnalisi ja pööratavaid sihtmärke modulaarsete, omavahel blokeeruvate segmentidena, mis on mõeldud sujuvaks paigaldamiseks arhitektuursetesse klaasidesse ja kuvari katmisliinidesse.

K: Millist teavet on vaja kohandatud sihtpakkumise taotlemiseks?

V: Esitage oma PVD-süsteemi mudel, kui see on teada, sihtgeomeetria (tasapinnaline või pööratav), täpsed mõõtmed (pikkus, laius, paksus või välisläbimõõt), materjali puhtusaste, tugiplaadi materjali nõuded ja hinnanguline aastane tarbimismaht.

K: Kuidas sihtmärke puhastatakse ja pakitakse enne saatmist?

V: Sihtmärke puhastatakse ultraheliga ultra-puhastes lahustites, et eemaldada töötlemisjäägid, need suletakse vaakum-puhasruumides kuivatusainetega ja pakitakse lämmastikuga -puhastatud või rasketesse{3}}puidust mahutitesse.

 

modular-1
Küsi hinnapakkumist

Konkreetse sadestussüsteemi kohta tehnilise ettepaneku ja hinnapakkumise saamiseks täpsustage oma PVD-süsteemi mudel, nõutav puhtusaste, mõõtmed ja hinnangulised kogused. Meie insenerimeeskond vastab 24 töötunni jooksul materjalide saadavuse ja tarnegraafikutega.

Oleme professionaalsed titaani pihustusobjektide tootjad ja tarnijad Hiinas, kes on spetsialiseerunud kvaliteetse kohandatud teenuse pakkumisele. Ostke siin laos soodushinnaga titaanist pihustusobjekte ja hankige meie tehasest tasuta proov. Hinnakonsultatsiooni saamiseks võtke meiega ühendust.