Toote ülevaade
Kohandatud titaani pihustussihtmärgid on kõrge -puhtusastmega lähtematerjalina füüsilise aurustamise-sadestamise (PVD) süsteemide jaoks. Mõeldud pooljuhtide, optiliste ja kulumiskindlate kattekihtide jaoks. Neid sihtmärke töödeldakse vaakum-induktsioonsulatamise või pulbermetallurgia abil, millele järgneb mitmekäiguline termo{4}}mehaaniline töötlemine, et saavutada peened, võrdsete teradega struktuurid. Saadaval tasapinnalise (ristkülikukujulise, ringikujulise) ja pööratava konfiguratsioonina, mis on metallist ühendamise teel sobitatud vasest või alumiiniumist tugiplaatidega.
Tehnilised andmed
|
Parameeter |
Spetsifikatsioonivahemik |
Testimismeetod ja visuaalne viide |
|
Materjali puhtus |
99,9% (3N) kuni 99,995% (4N5) |
GDMS (hõõguva tühjenemise massispektromeetria) • Vaadake GDMS-i testsertifikaadi näidist: [Laadi alla PDF / kuva aruanne] |
|
Tihedus |
>= 4.50 g/cm^3 (>99,5% teoreetiline) |
Archimedese keelekümblusmeetod |
|
Keskmine tera suurus |
< 100 um (customizable to < 50 um) |
EBSD / Metallograafiline mikroskoop • Vaadake mikroskoopilist terastruktuuri pilti: [Inspect SEM Micrograph] |
|
Mõõtmed |
Läbimõõt kuni 400 mm (tasapinnaline); Pikkus kuni 3500 mm (pööratav) |
CMM laserskanner |
|
Tugiplaat |
OFHC vask, 2. klassi titaan, alumiiniumisulamid |
Ultraheli testimine sideme tühimike suhte määramiseks |
|
Liimimise terviklikkus |
>95% liimimisala katvus |
Ultraheli C{0}}skaneerimine • Vaadake C-skannimise defektide kaarti: [Inspect Ultrasonic Scan] |
Põhifunktsioonid
Ühtne mikrostruktuur:Kontrollitud termomehaanilised marsruudid kõrvaldavad lokaliseeritud kõvad kohad, minimeerides kaare ja osakeste teket suure võimsusega alalis- või raadiosagedusliku pihustamise ajal.
Madala gaasisisaldusega lisandid:Interstitsiaalsed elemendid (hapnik, lämmastik, süsinik, vesinik) on rangelt kontrollitud alla 500 ppm, et vältida kile rabedumist ja elektrilise takistuse hüppeid.
Usaldusväärne termiline liides:Indium-, elastomeeri- või hõbe-epoksüside tagab kõrge soojusjuhtivuse, vältides sihtmärgi kõverdumist ja pragunemist suure soojusvoo korral.
Täpse töötlemise tolerantsid:CNC freesimine tagab tiheda tasasuse tolerantsid (+/- 0.05 mm) ja katoodi paigaldamise kindla sobivuse.
Rakendused
Pooljuht ja mikroelektroonika:Barjäärikihtide, kontaktmetallide ja omavahel ühendatud seemnete PVD-sadestamine räniplaatidele.
Optilised katted:Peegeldusvastased (AR) katted, filtrikihid ja arhitektuurne madal{1}}E-klaasi sadestamine magnetroni pihustamisega.
Kulumiskindel-ja dekoratiivne:TiN, TiAlN ja TiCN kõvakatted lõikeriistadele, meditsiinilistele implantaatidele ja olmeelektroonika riistvarale.
Teadus- ja arendustegevus:Kohandatud sulamikompositsioonid ja kohandatud tera suurused ülikoolide ja ettevõtete õhuke{0}}kile laboritele.
Kohandamine ja tootmine
Sihtmärgid on ehitatud otse kliendi CAD-failidest ja kambrite konkreetsetest geomeetriatest.
Sulamine ja vormimine:Vaakum-induktsioonsulatus (VIM), mis on ühendatud vaakumkaare ümbersulatusega (VAR), tagab väikese segregatsiooni. Järgnev kuumsepistamine ja valtsimine lagunevad-dendriitidena.
Töötlemisvõimalused:Mitme-teljega CNC-freesimine, treipingi treimine ja traadi elektrooditöötlusprotsessor saab hakkama keerukate geomeetriate, keermestatud jahutuskanalite ja kindlate servade faasidega.
Alusplaadi integreerimine:Majasisesed liimimisrajatised kasutavad vaakumjootmis- ja -pressimisseadmeid, et ühendada sihtplaadid vasest või alumiiniumist tugitorudega, mida kontrollitakse destruktiivsete nihketestide ja ultraheliskaneerimisega.
Kvaliteedikontroll ja sertifikaadid
Iga tootmispartii läbib enne pakendamist range kontrolli.
Analüütiline testimine:Iga partiiga on kaasas GDMS-i analüüsiaruanded, et kontrollida metalliliste ja interstitsiaalsete lisandite taset.
Mittepurustav testimine (NDT):Ühendatud sõlmede 100% ultraheli C-skaneerimise kontroll tuvastab sisemise delaminatsiooni või kuni 2 mm läbimõõduga tühimikud.
Mõõtmete kinnitamine:Laser-CMM-kontroll registreerib kriitilised paigaldusmõõtmed ja pinna tasasuse.
Standardite järgimine:Toodetud vastavalt ISO 9001:2015 kvaliteedijuhtimissüsteemidele.
Pakkimine ja kohaletoimetamine
Vaakumtihendus:Sihtmärgid puhastatakse, kuivatatakse ja suletakse hermeetiliselt anti-vaakumkottidesse klassi 10 000 puhta ruumi keskkonnas.
Kaitsev polsterdus:Pakitud kohandatud -vormitud suure-tihedusega polüetüleenist (HDPE) vahtplasti ja tugevatesse puitkastidesse, et vältida pinna kriimustamist, servade lõhenemist ja transpordilööke.
Saatedokumentatsioon:Iga saadetis sisaldab analüüsisertifikaati (COA), materjali ohutuskaarti (MSDS) ja mõõtmete kontrollimise aruannet.
KKK
K: Milline on titaanist pihustusobjektide maksimaalne puhtusaste?
V: Standardtoodang saavutab 99,995% (4N5) puhtuse. Pooljuhtide rakenduste spetsiifilised klassid läbivad kontrollitud gaasi redutseerimise, et hoida hapniku tase alla 300 ppm.
K: Kuidas vältida kaare tekkimist suure{0}}võimsusega pritsimise ajal?
V: Kaare teket leevendab peene ja ühtlase tera suuruse säilitamine (< 100 um) and low interstitial gas content. This eliminates localized density variations and inclusion sites that cause plasma discharge instability.
K: Mis on kohandatud dimensioonide standardne töötlemisaeg?
V: Standardsed tasapinnalised sihtmärgid tarnitakse 2–3 nädalaga. Kohandatud pööratavad sihtmärgid või sõlmed, mis nõuavad spetsiaalseid tugiplaate ja liimimist, võtavad tavaliselt 4–6 nädalat.
K: Kas saate tarnida vasest alusplaatidele{0}}eelliimitud sihtmärke?
A: Yes. Copper, aluminum, and titanium backing plates are integrated using Indium solder or elastomer bonding, verified by ultrasonic C-scan testing for >95% võlakirjade kate.
K: Millised andmed sisalduvad materjali testimise aruandes (MTR)?
V: Iga saadetis sisaldab GDMS-i keemiliste lisandite analüüsi, tiheduse mõõtmisi, tera suuruse jaotuse andmeid ja ultraheli sidumise kontrolli kaarte.
K: Kas allkirjastate mitteavaldamise lepinguid (NDA) patenteeritud sihtkujunduste kohta?
V: Jah. Kohandatud joonised, patenteeritud sulamite suhted ja spetsiifilised katoodliidese kujundused on enne tehnilist ülevaatamist kaitstud standardsete ettevõtte NDA-dega.
Küsi hinnapakkumist
Esitage oma sihtmõõtmed, puhtusaste, kogus ja alusplaadi nõuded, et saada 24 tunni jooksul ametlik tehniline pakkumine ja teostusaja hinnang.
[Esita RFQ / laadige üles joonised]
Kuum tags: kohandatud titaani pihustussihtmärgid, Hiina kohandatud titaani pihustussihid tootjad, tarnijad, tehas